CARACTERIZAÇÃO DE CÂMARA PARA PÓS-DESCARGA DE CÁTODO ÔCO À BAIXA PRESSÃO

Autores

  • Edson José da Costa Santos
  • Edalmy Oliveira de Almeida
  • Bruno Felipe Costa da Silva
  • Paulo Victor de Azevedo Guerra
  • Hélio Roberto Hékis
  • Karilany Dantas Coutinho Universidade Federal do Rio Grande do Norte / Departamento de Engenharia Biomédica
  • Clodomiro Alves Junior Universidade Federal Rural do Semi-Árido
  • Custódio Leopoldino de Brito Guerra Neto

DOI:

https://doi.org/10.18816/r-bits.v5i2.7252

Resumo

Muitas aplicações de plasma exigem que a descarga seja produzida distante da superfície a ser processada, evitando assim danos causados pelo bombardeamento e/ou radiação do plasma. Nesse regime de pós-descarga várias aplicações em materiais termicamente sensíveis como tecidos vivos e polímeros podem ser utilizadas. O conhecimento das características da descarga elétrica (espécies opticamente ativas e composição química do plasma) é essencial para eficiência e controle do tratamento. Este trabalho é dedicado à caracterização da pós-descarga DC produzida em cátodo oco cilíndrico de titânio usando simultaneamente a espectroscopia de emissão óptica e um espectrômetro de massa quadrupolar. Os parâmetros de corrente elétrica, pressão na câmara e fluxo de argônio na descarga Ar/N2 são mantidos constantes em 0,4 A; 0,045 Pa e 6 sccm, respectivamente. A evolução das espécies ativas do plasma foi analisada por espectroscopia de emissão óptica e espectrometria de massa quadrupolar, simultaneamente, quando se variou o fluxo de nitrogênio entre 1 e 6 sccm. Foi observado que adição de nitrogênio produziu uma queda linear na intensidade de emissão óptica dos picos de argônio e aumento linear da intensidade dos picos do primeiro e segundo sistema positivo de N2. As principais espécies iônicas encontradas por espectrometria de massa quadrupolar foram de Ar+ e N2+. Foi possível correlacionar os resultados obtidos por espectroscopia de emissão ótica e espectrometria de massa. A razão das intensidades de emissão ótica de N2(1 +) mostrou-se diretamente proporcional a pressão parcial de N2 na pós-descarga de cátodo oco.

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Biografia do Autor

Karilany Dantas Coutinho, Universidade Federal do Rio Grande do Norte / Departamento de Engenharia Biomédica

Professora da Universidade Federal do Rio Grande do Norte (Atual). Doutorado em Engenharia Mecânica pela Universidade Federal do Rio Grande do Norte (Atual). Ex-engenheira da EMBRAER - Empresa Brasileira de Aeronáutica (2010). Mestrado em Engenharia Mecânica pela Universidade Federal do Rio Grande do Norte (2006). Graduação em Engenharia Mecânica pela Universidade Federal do Rio Grande do Norte (2004). Experiência na área de Engenharia Mecânica, Análise Estrutural de Componentes Mecânicos (metálicos e não-metálicos) e Otimização Estrutural.

Clodomiro Alves Junior, Universidade Federal Rural do Semi-Árido

Universidade Federal Rural do Semi-Árido , Departamento de Física,
Costa e Silva, Mossoró - RN, 59625-900.

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Publicado

02-06-2015

Como Citar

Santos, E. J. da C., Almeida, E. O. de, Silva, B. F. C. da, Guerra, P. V. de A., Hékis, H. R., Coutinho, K. D., Junior, C. A., & Guerra Neto, C. L. de B. (2015). CARACTERIZAÇÃO DE CÂMARA PARA PÓS-DESCARGA DE CÁTODO ÔCO À BAIXA PRESSÃO. Revista Brasileira De Inovação Tecnológica Em Saúde - ISSN:2236-1103, 5(2). https://doi.org/10.18816/r-bits.v5i2.7252

Edição

Volume 5. Número 2. 2015 / EDIÇÃO ESPECIAL: BIOENGENHARIA

Seção

Artigos Originais