ESTUDO DE DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS EM PLASMAS DE AR/AR-H2 EM REGIÕES DE PÓS-DESCARGA DE CATODO OCO

Autores

  • Bruno Felipe Costa da Silva
  • Edson José da Costa Santos
  • Edalmy Oliveira de Almeida
  • Paulo Victor de Azevedo Guerra Guerra
  • Hélio Roberto Hékis
  • Karilany Dantas Coutinho Universidade Federal do Rio Grande do Norte / Departamento de Engenharia Biomédica
  • Clodomiro Alves Junior Universidade Federal Rural do Semi-Árido
  • Custódio Leopoldino de Brito Guerra Neto

DOI:

https://doi.org/10.18816/r-bits.v5i2.7253

Resumo

O Plasma DC de catodo oco vem sendo utilizado para a deposição de filmes finos através de sputtering com liberação de átomos neutros do catodo. O Plasma DC de Ar-H2 de catodo oco usado atualmente na indústria tem demonstrado ser mais eficiente na limpeza de superfícies e deposição de filmes finos quando comparado ao plasma de argônio. Quando desejamos evitar os efeitos do bombardeamento iônico da descarga no substrato utiliza-se a região de pós-descarga. Geraram-se descargas por plasma de argônio e hidrogênio no catodo oco para deposição de filmes finos de titânio em substrato de vidro. A espectroscopia de emissão ótica foi empregada para o diagnostico na pós-descarga e os filmes formados foram analisados através da técnica de perfilometria mecânica. Observaram-se variações para a taxa de deposição do titânio sobre o substrato de vidro para diferentes parâmetros do processo, tempo de deposição, distancia da descarga, e gases de trabalho. Verificou-se um aumento da intensidade relativa das espécies de argônio com a introdução de gás hidrogênio.

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Biografia do Autor

Karilany Dantas Coutinho, Universidade Federal do Rio Grande do Norte / Departamento de Engenharia Biomédica

Professora da Universidade Federal do Rio Grande do Norte (Atual). Doutorado em Engenharia Mecânica pela Universidade Federal do Rio Grande do Norte (Atual). Ex-engenheira da EMBRAER - Empresa Brasileira de Aeronáutica (2010). Mestrado em Engenharia Mecânica pela Universidade Federal do Rio Grande do Norte (2006). Graduação em Engenharia Mecânica pela Universidade Federal do Rio Grande do Norte (2004). Experiência na área de Engenharia Mecânica, Análise Estrutural de Componentes Mecânicos (metálicos e não-metálicos) e Otimização Estrutural.

Clodomiro Alves Junior, Universidade Federal Rural do Semi-Árido

Universidade Federal Rural do Semi-Árido, Departamento de Física,
Costa e Silva, Mossoró - RN, 59625-900.
clodomiro.jr@gmail.com

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Publicado

02-06-2015

Como Citar

Silva, B. F. C. da, Santos, E. J. da C., Almeida, E. O. de, Guerra, P. V. de A. G., Hékis, H. R., Coutinho, K. D., Junior, C. A., & Guerra Neto, C. L. de B. (2015). ESTUDO DE DEPOSIÇÃO DE FILMES FINOS EM PLASMAS DE AR/AR-H2 EM REGIÕES DE PÓS-DESCARGA DE CATODO OCO. Revista Brasileira De Inovação Tecnológica Em Saúde - ISSN:2236-1103, 5(2). https://doi.org/10.18816/r-bits.v5i2.7253